(Microsoft Word - preprint.doc)

C l a s s i c a l o p t i c a l l i t h o g r a p h y i s d i f f r a c t i o n l i m i t e d t o w r i t i n g f e a t u r e s o f a s i z e λ / 2 o r g r e a t e r , w h e r e λ i s t h e o p t i c a l w a v e l e n g t h . U s i n g n o n c l a s s i c a l p h o t o n n u m b e r s t a t e s , e n t a n g l e d N a t a t i m e , w e s h o w t h a t i t i s p o s s i b l e t o w r i t e f e a t u r e s o f m i n i m u m s i z e λ / ( 2 N ) i n a n N p h o t o n a b s o r b i n g s u b s t r a t e . T h i s r e s u l t a l l o w s o n e t o w r i t e a f a c t o r o f N 2 m o r e e l e m e n t s o n a s e m i c o n d u c t o r c h i p . A f a c t o r o f N = 2 c a n b e a c h i e v e d e a s i l y w i t h e n t a n g l e d p h o t o n p a i r s g e n e r a t e d f r o m o p t i c a l p a r a m e t r i c d o w n c o n v e r s i o n . I t i s s h o w n h o w t o w r i t e a r b i t r a r y 2 D p a t t e r n s b y u s i n g t h i s m e t h o d . P A C S n u m b e r s : 4 2 . 5 0 . H , 8 5 . 4 0 . H , 4 2 . 2 5 . H , 4 2 . 6 5 . K